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Einführung in die Mikrosystemtechnik

ein Kursbuch für Studierende
Verfasser: Suche nach diesem Verfasser Dötzel, Wolfram; Gerlach, Gerald
Jahr: 2006
Verlag: Carl Hanser Verlag
Mediengruppe: 16 eMedien
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Inhalt

Mit der Entwicklung der Mikrosystemtechnik haben die Vorteile der Mikroelektronik - Miniaturisierung, Integration und hohe Parallelität in der Fertigung - auch die nichtelektrische Welt erreicht. Das vorliegende Buch stellt die grundlegenden Aspekte der Mikrosystemtechnik dar. Es schlägt einen Bogen von den verwendeten Werkstoffen über die wichtigsten Fertigungsverfahren und die technologischen Methoden der Systemintegration hin zum Entwurf von Funktionskomponenten und kompletten Systemen.

Rezensionen

Details

Verfasser: Suche nach diesem Verfasser Dötzel, Wolfram; Gerlach, Gerald
Jahr: 2006
Verlag: Carl Hanser Verlag
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ISBN: 3-446-40523-2
Beschreibung: 385 S. graph. Darst.
Schlagwörter: Lehrbuch; Mikrosystemtechnik
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